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■ 気相部の時間経過と圧力の変化

タンク内を真空ポンプで一定値（P１)まで減圧する。減圧区域は、製品の蒸気圧により加圧され、設定値(P２)まで上昇するとコンピューターが自動的に真空ポンプを再起動し、再び一定値(P１)まで減圧する。減圧箇所の気相部・配管部に漏洩がない場合は、飽和蒸気圧に近づくため、　圧力上昇が少なくなり真空ポンプの再起動サイクルが長くなる。このポンプ再起動までの時間サイクルにより漏洩の有無を検知する。